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碳化硅外延技術規范
文章作者：poshing 上傳更新：2022-06-17
型號
4英寸N型
6英寸N型
厚度
120微米及以下
120微米及以下
濃度區間
2E14-1E19 cm-3
8E14-1E19 cm-3
濃度均勻性
≤8%
≤8%
厚度均勻性
≤2%
≤2%
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